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超纯水紫外线消毒技术由于纯水制水速度较慢，在纯水和超纯水之间通常采用水箱作为过度，由于水箱长期储存纯水就会因为材质溶出，空气中有机物就污染，微生物繁殖等造成纯水水质恶化，为了保证超纯水的进水水质，就需要将水箱的水质恶化程度降到最低，紫外线消毒器在防止纯净水水质恶化方面应用广泛。 虽然水质纯化有许多方法，但是依然会有许多微生物残存，这些微生物一旦存于水箱中，就会繁殖滋生细菌病毒，影响水质，所以在纯水净化的过程中，应该使用紫外线消毒器进行杀菌消毒。相对于药剂消毒，紫外线消毒法消毒效果好，只需要在紫外光照射期间，实现微生物的消毒杀菌即可。当纯水中的微生物受到紫外光的一定照射量处理时，杀菌率可达99.9%。在水纯化过程中加装紫外线消毒器，首先需要在纯水系统的水流管路中加装管道式紫外线消毒器，采用连续照射方法，对其进行杀菌效果检测。紫外线灯的照射处理时间为每日10分钟。结果显示，管路中纯水的细菌数在紫外线灯照射下约为4-10cfu/ml。之后，在紫外线灯的照射下细菌数进一步降低。水箱内的水经紫外线灯照射后，虽因重新注入纯水而使细菌数增加，但仍可使细菌繁殖获得极大抑制。 研究表明，在纯水管线与水箱中同时使用紫外线消毒器紫外灯照射，可将纯水中的细菌降到最低。水箱中的细菌一旦繁殖，就会将细菌及其代谢的有机物流入超纯水系统。所以，进行超纯水纯化时，有必要在纯水管线与水箱中同时加装紫外线灯照射。
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